在LCD面板生产中，即使是0.5μm的颗粒污染也会导致像素缺陷。传统烘箱难以满足G5以上世代线对洁净度（Class 100）和温度均匀性（±0.5℃）的严苛要求。新一代无尘烘烤箱通过三重过滤系统和气流优化设计，实现每立方米≥0.3μm颗粒数＜1000的行业突破。